一种用于光罩的手持式夹具制造技术

本发明专利技术涉及夹持设备领域，公开了一种用于光罩的手持式夹具，包括安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件和卡死组件，安装架的一端固定有手持部；夹持组件包括左夹具和右夹具，左夹具和右夹具对称设置，且均滑动安装在安装架的底侧；传动组件包括第一齿条、第二齿条和齿轮，第一齿条的一端固定在左夹具上，第二齿条的一端固定在右夹具上，齿轮转动安装在安装架内，齿轮位于第一齿条和第二齿条之间，且与第一齿条和第二齿条相互啮合；驱动组件用于驱动右夹具往靠近左夹具的一侧移动；卡死组件包括卡壳和卡板。本发明专利技术便于夹持和转移光罩，十分省力，操作也十分便捷。操作也十分便捷。操作也十分便捷。

A hand-held fixture for light mask

【技术实现步骤摘要】
一种用于光罩的手持式夹具


[0001]本专利技术涉及夹持设备
，尤其涉及一种用于光罩的手持式夹具。

技术介绍

[0002]光罩是在光刻工艺中不可缺少的一部分，光罩质量的优劣直接影响着工厂半导体制造能力强弱，那么除了在光罩制造时提升工艺水平，如何在制造完成后防止光罩受损也是一个重要的问题，尤其是一些复杂的光罩，通常也不具有备份，因此，对光罩在平时加以保护就显得尤为重要。
[0003]在光罩的加工过程中，需要对光罩进行转移，例如从一个光罩盒移到另一个之中，或者在光罩盒与晶盒之间转移，为了保证光罩不被污染、不被损坏，通常是采用专用的夹具对光罩进行转移。
[0004]但是普通的夹具通常只能够对光罩进行夹持，在夹持光罩时，需要用力握住夹具的传动组件，才能保持夹具夹持光罩的稳定，既不方便，也十分费力。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种用于光罩的手持式夹具，解决了
技术介绍
中指出的现有的夹具在夹持光罩时，既不方便，也十分费力的问题。
[0006]本专利技术通过以下技术手段解决上述技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：包括安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件和卡死组件，所述安装架的一端固定有手持部；所述夹持组件包括左夹具和右夹具，所述左夹具和右夹具对称设置，且均滑动安装在安装架的底侧；所述传动组件包括第一齿条、第二齿条和齿轮，所述第一齿条的一端固定在左夹具上，所述第二齿条的一端固定在右夹具上，所述齿轮转动安装在安装架内，所述齿轮位于第一齿条和第二齿条之间，且与第一齿条和第二齿条相互啮合；所述驱动组件用于驱动右夹具往靠近左夹具的一侧移动；所述卡死组件包括卡壳和卡板，所述卡壳滑动安装在安装架上并与左夹具固定，所述卡板滑板安装在安装架内，且所述卡板与安装架之间设有第一弹簧，所述卡板上设有楔形块，所述卡壳上具有与楔形块相适配的卡孔。2.根据权利要求1所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述左夹具包括滑动块、连接臂和支撑块，所述连接臂的一端固定在滑动块上，所述连接臂的另一端与支撑块固定，所述右夹具与左夹具结构相同且为对称设置，所述安装架的底侧设有第一滑槽，所述左夹具与右夹具的滑动块均滑动安装于第一滑槽内，所述安装架于第一滑槽内固定有第一限位杆，所述第一限位杆贯穿左夹具和右夹具的滑动块。3.根据权利要求2所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述第一齿条固定在左夹具的滑动块上，所述第二齿条固定在右夹具的滑动块上，所述安装架于第一滑槽内固定有第一固定轴，所述齿轮转动安装在第一固定轴上。4.根据权利要求2所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述安装架靠近手持部的底侧设有安装槽，所述驱动组件安装于安装槽内，所述驱动组件包括推杆和凸轮，所述安装架内设有连通安装槽和第一滑槽的滑孔，所述推杆滑动安装于滑孔内，所述推杆的一端延伸至第一滑槽内并与右夹具的滑动块固定，所述推杆的另一端延伸至安装槽内并固定有推板，所述推杆位于安装槽内的部位套设有第二弹簧，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金龙，王敬，冯永明，王凤玲，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：