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本实用新型公开了一种金刚石气相沉积炉，包括进气管，所述进气管包括导气管以及连通导气管与沉淀反应箱的流速控制管道，所述流速控制管道内设有锥形内槽，所述锥形内槽内设有流速控制活塞，所述流速控制活塞包括一端固定的固定套筒、另一端轴向运动的活动套筒...
该专利属于杭州超然金刚石有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州超然金刚石有限公司授权不得商用。

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