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本发明提供的UVC LED芯片包括导电衬底、第一键合金属层、第二键合金属层、粘结层、柱状N电极、P/N隔离绝缘层、P电极金属层、刻蚀阻挡层、反射金属层、电流拓展层、LED外延层和柱状P电极;导电衬底、第一键合金属层、第二键合金属层、粘结层、...该专利属于广州市众拓光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州市众拓光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供的UVC LED芯片包括导电衬底、第一键合金属层、第二键合金属层、粘结层、柱状N电极、P/N隔离绝缘层、P电极金属层、刻蚀阻挡层、反射金属层、电流拓展层、LED外延层和柱状P电极;导电衬底、第一键合金属层、第二键合金属层、粘结层、...