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本发明涉及一种用于纯离子镀膜的异面离子束流通道，包括通道本体和磁场装置，磁场装置用于调控通道本体内离子束流的流动方向，通道本体的一端与阳极装置相连接，通道本体的另一端与真空腔体相连接，通道本体上具有间隔设置的第一、二曲折部，记第一曲折部中心...
该专利属于安徽纯源镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽纯源镀膜科技有限公司授权不得商用。

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