下载一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法的技术资料

文档序号:34103430

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本发明公开一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法,涉及半导体技术领域,能够提高晶棒的掺杂剂添加量的准确度,改善生成的晶棒的头部的电阻率的集中性。包括:根据预设的目标电阻率,确定首次投放的首次添加量;根据首次添加量、第一挥发量、第一分凝量和第一剩余...
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