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本实用新型提供一种多尺寸晶圆快速切换模组，包括：内环形模组，包括内环形底板、一体成形于内环形底板的内环形侧板、固定于内环形侧板顶部的内环形顶板、固定于内环形侧板外侧壁的定位销钉以及固定于内环形侧板外侧壁的滑动塞块；外环形模组，包括外环形底板...
该专利属于莱腾仕精密机电（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过莱腾仕精密机电（上海）有限公司授权不得商用。

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