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本公开提供了一种提高掺杂效率的外延片制备方法及外延生长设备，属于外延制备技术领域。Cp2Mg经过镁源管道进入反应腔内，镁源管道的侧壁连通有辅助推动管道。在固态的Cp2Mg经过镁源管道进入反应腔内的过程中，辅助推动管道内向镁源管道通入生长推动...
该专利属于华灿光电（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华灿光电（苏州）有限公司授权不得商用。

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