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本发明提供了一种MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元、以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动单元；锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个中心锚点；传感单元包括四个分别弹性连接于各角部锚点结构和对...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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