下载超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法的技术资料

文档序号:34092100

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本发明涉及热障涂层制备技术领域,具体而言,涉及一种超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法。该制备方法包括:对沉积室顶部的沉积物进行清理,并对蒸发电子枪和预热电子枪进行清理,更换蒸发电子枪和预热电子枪的钨灯丝;将检验合格的靶材放入坩埚,对沉...
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