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本申请公开了微电子密封件内的屏障结构。一种器件(100)包括第一衬底(114)。所述器件(100)还包括在所述第一衬底(114)上的包括金属层(120)的屏障结构(106)，其中所述屏障结构(106)形成腔室(102)。所述器件(100)还...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。

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