下载半导体装置的技术资料

文档序号:34089732

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一种半导体装置,包括:有源图案,其包括下部图案和在第一方向上与下部图案间隔开的片状图案;栅极结构,其位于下部图案上,并且包括围绕片状图案的栅电极,栅电极在垂直于第一方向的第二方向上延伸;以及源极/漏极图案,其在下部图案上并且与片状图案接触。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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