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文档序号:34086132
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试样保持件具备基体、支承体和筒状构件。支承体内的气体流路具有第一部分及第二部分,该第一部分与支承体的接合面平行地延伸,该第二部分与第一部分分支连接,沿与接合面垂直的方向延伸,且在接合面开口。筒状构件具有:沿着第二部分配置的筒状的主体部;及与...
该专利属于京瓷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京瓷株式会社授权不得商用。
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