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一种次级带电粒子成像系统，包含：背向散射电子检测器模块，其中背向散射电子检测器模块可以环绕轴线而在第一角位置(5452)与第二角位置(5454)之间旋转。角位置(5454)之间旋转。角位置(5454)之间旋转。
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该专利属于ICT半导体集成电路测试有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ICT半导体集成电路测试有限公司授权不得商用。

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