下载检测方法和检测系统的技术资料

文档序号:34082318

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一种检测方法和检测系统,检测方法包括:通过照明模块产生入射光,入射光经待测物后形成信号光;利用第一镜组收集信号光,并使信号光到达成像模块;利用成像模块的探测器根据信号光对第一镜组的监测面进行成像,获取监测面的第一图像,其中,监测面为第一镜组...
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