检测方法和检测系统技术方案

一种检测方法和检测系统，检测方法包括：通过照明模块产生入射光，入射光经待测物后形成信号光；利用第一镜组收集信号光，并使信号光到达成像模块；利用成像模块的探测器根据信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取监测面的第一图像，其中，监测面为第一镜组远离待测物的一侧的平面；根据探测器获取的第一图像，对照明模块进行调节，以调节入射光的照明角度。本发明专利技术有利于提高检测精度。本发明专利技术有利于提高检测精度。本发明专利技术有利于提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】
检测方法和检测系统


[0001]本专利技术实施例涉及光学检测领域，尤其涉及一种检测方法和检测系统。

技术介绍

[0002]在光学检测中，检测光束的质量直接影响检测结果，现有技术中往往通过光束质量分析仪分析光束形成的光斑的均匀性、尺寸等。利用光束质量分析仪进行检测需要从检测光路中引出一路光进行检测，从而导致检测光路较复杂，检测成本增加，而且，利用光束质量分析仪进行检测需要从检测光路中引出一路光进行检测，还不容易将光束质分析仪的坐标与实际照明的光轴对应上，需要额外的标定，导致检测过程繁琐。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例解决的问题是提供一种检测方法和检测系统，提高检测精度。
[0004]为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种检测设备的检测方法，包括：所述检测设备包括：照明模块、第一镜组和成像模块，所述成像模块包括探测器；通过照明模块产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；利用所述第一镜组收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备的检测方法，其特征在于，包括：所述检测设备包括：照明模块、第一镜组和成像模块，所述成像模块包括探测器；通过照明模块产生入射光，所述入射光经待测物后形成信号光；利用所述第一镜组收集所述信号光，并使所述信号光到达所述成像模块；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面；根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节，以调节所述入射光的照明角度。2.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，通过照明模块产生入射光中，利用所述照明模块将所述入射光汇聚在所述第一镜组的汇聚面，所述汇聚面位于所述第一镜组远离待测物的一侧，所述汇聚面与所述监测面重合；所述第一镜组还用于使汇聚至所述汇聚面的入射光平行入射至所述待测物。3.如权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述照明模块包括：沿入射光路设置的光源组件和入射镜组；所述光源组件包括出射口，用于产生入射光，并使入射光自所述出射口射出；所述入射镜组使所述监测面与所述出射口共轭。4.如权利要求3所述的检测方法，其特征在于，所述入射镜组包括第一入射镜、第二入射镜和第三入射镜，所述第一入射镜和第二入射镜之间具有第一中间像面，所述第二入射镜使所述第一中间像面与所述汇聚面共轭；所述第一入射镜使所述第一中间像面与所述出射口共轭；所述第二入射镜和第三入射镜之间具有第二中间像面，所述第三入射镜使所述第二中间像面与所述待测物表面共轭。5.如权利要求1至3任意一项所述的检测方法，其特征在于，所述监测面为所述第一镜组的后焦面，所述后焦面为所述第一镜组远离所述待测物的焦平面。6.如权利要求4所述的检测方法，其特征在于，根据所述探测器获取的第一图像，对所述照明模块进行调节包括：根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节。7.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述照明模块还包括沿入射光路设置的光阑组件，所述光阑组件用于调节入射光的入射方向和/或入射光在待测物表面形成的光斑，所述照明模块满足以下条件中的一种或多种，所述条件包括：所述光源组件的位置可调、所述入射镜组的位置可调、所述光阑组件的位置可调、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状可调；根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节包括：对所述光源组件的位置、所述入射镜组的位置、所述光阑组件的位置、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状中的一者或多者组合进行调节，以调节所述入射光的照明角度，以提高照明角度的对称性和均匀性，所述照明角度为入射光照射至所述待测物的空间角度。8.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，对所述入射镜组的位置、所述光阑组件的位置、以及所述光阑组件的透光孔的尺寸和形状中的一者或多者组合进行调节包括：将入射镜组的中心位置向入射光的主光轴调节；将光阑组件的中心位置向入射光的主光轴调节；调节增加光阑组件的透光孔的圆度。9.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述光阑组件包括：孔径光阑，位于所述
第一中间像面的位置处，用于限制入射光的入射方向；根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节包括以下一者或多者组合：根据第一图像的光强分布，调节孔径光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的空间角度分布；根据第一图像的轮廓，调节孔径光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的空间角度范围；根据第一图像的形状，调节孔径光阑的透光孔的形状，以调节入射光照射在待测物上的空间角度分布。10.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述光阑组件包括：视场光阑，位于所述第二中间像面的位置处，用于限制入射光在待测物表面形成的光斑；根据所述第一图像的光强均匀性和形状，对所述入射光的照明角度进行调节包括以下一者或多者组合：根据第一图像的光强分布，调节视场光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的空间角度分布；根据第一图像的轮廓，调节视场光阑的透光孔的尺寸，以调节入射光照射待测物的边界轮廓；根据第一图像的形状，调节视场光阑的透光孔的形状，以调节入射光照射在待测物上的形状。11.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括：位于第一镜组和成像模块之间的补偿组件；利用成像模块的探测器根据所述信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取所述监测面的第一图像包括：利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭；所述检测方法还包括：利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述待测物共轭；利用所述探测器接收经过所述第一镜组的信号光，获取所述待测物表面的第二图像。12.如权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述补偿组件为可移动的补偿镜组，利用所述补偿组件使所述探测器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭包括：将所述可移动的补偿镜组移入所述第一镜组和成像模块之间的光路；利用所述补偿...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，莫云杰，江博闻，姚本溪，吕肃，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：