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本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及制备方法，在该薄膜体声波谐振器中，由凸起和/或凹陷构成的波浪型的第一电极与由凸起和/或凹陷构成的波浪型的第二电极相对设置，例如第一电极的凸起与第二电极的凸起相对设置，第一电极的凹陷与第二电极的凹陷相对设置，...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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