下载一种超高频超薄石英晶片掩膜定位工装和定位方法的技术资料

文档序号:34073832

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本发明属于石英晶片加工领域,具体为一种超高频超薄石英晶片掩膜定位工装和定位方法,包括底板电极,所述底板电极的底部四角处均固定有支架;所述底板电极的顶部固定有凸台,所述底板电极的顶部连接有定位片,所述定位片的表面对应所述凸台处开设有与凸台适配...
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