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用改进的压电膜制成一薄膜谐振器（ＴＦＲ），改进的压电膜是在生长表面上外延生长的，得到的压电膜有很少晶粒边界。外延生长是指，压电膜有一结晶学取向，它取自或仿照一单晶衬底或生长表面的结晶学取向。例如，在以单晶硅衬底为生长表面上外延生长的压电膜，...
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