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本发明揭示一种电子部件的频率调节方法，包括通过将离子束照射在电极上蚀刻设置在电子部件表面的电极的步骤。沿着将电极设置在其上的表面的一个方向，至少移动电子部件和离子束中的一个，进行离子束照射。...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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