下载晶圆溶解治具和晶圆转移设备的技术资料

文档序号:34071782

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本申请提供的一种晶圆溶解治具和晶圆转移设备,涉及晶圆治具技术领域。该晶圆溶解治具包括载具本体,载具本体上设有晶圆放置槽,晶圆放置槽内设有第一承载台和第二承载台,第一承载台高于第二承载台且位于第一承载台的外围,第一承载台和第二承载台用于放置晶...
该专利属于甬矽半导体(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甬矽半导体(宁波)有限公司授权不得商用。

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