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本实用新型公开了一种高温硅片间接控温装置,包括至少一组调试热电偶和热电偶，调试热电偶用于检测硅片的温度值，热电偶用于检测石英管以及电炉丝组件所在区域的温度值，调试热电偶检测的温度值与热电偶检测的温度值的差值设置为热电偶的温度偏差补偿值，本实...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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