下载一种可有效保护晶圆的晶舟盒的技术资料

文档序号:34069024

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本发明属于半导体制造技术领域,具体涉及一种可有效保护晶圆的晶舟盒,该晶舟盒的两个侧壁从上到下均设有若干组间隔平行设置的隔层件,每组隔层件包括两个分别对称设置在晶舟盒两个侧壁的隔板;同一组的两个隔板位于同样的水平高度;本发明可减少人员疏失以及...
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