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具有第三阶弹性常数的热稳定的表面声波传感器制造技术
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下载具有第三阶弹性常数的热稳定的表面声波传感器的技术资料
文档序号:3406572
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一种表面声波(SAW)传感器,其包括设置在衬底(23)上的转换器(24),其中转换器(24)在衬底(23)上取向,声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和...
该专利属于传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过传感技术有限公司授权不得商用。
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