具有第三阶弹性常数的热稳定的表面声波传感器制造技术

一种表面声波（ＳＡＷ）传感器，其包括设置在衬底（２３）上的转换器（２４），其中转换器（２４）在衬底（２３）上取向，声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和衬底密度随温度的变化的相关的传感器输出随温度的变化总和大致相同并相反。由此减小温度变化对于传感器输出的作用。这可以通过３５°配置或通过反射格栅相对于垂直方向在３．１°的角度上倾斜来实现。另外给出具有盘形的牢固组件。特定的应用是扭矩测量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及SAW传感器，也就是说使用表面声波(SAW)器件来检测物理参数的传感器。
技术介绍
本领域普通技术人员将理解到，SAW器件可用来检测SAW器件衬底的物理尺寸的变化。SAW器件的谐振频率(在SAW谐振器情况下)或SAW器件的群延迟或相延迟(延迟线SAW器件的情况下)随SAW器件的尺寸变化而变化。因此，通过将SAW器件布置成使其物理条件的变化产生SAW器件衬底尺寸的变化，SAW器件可用来提供所述物理条件的测量。通常是，SAW器件可以应力计的方式使用。此技术的一个特定应用是测量扭矩。在这种情况下，SAW器件的一个所需特性是它们可在SAW器件及其相关讯问电路之间不设置硬线电连接的情况下进行讯问。这一事实与SAW器件可以无源进行操作的事实(换言之，它们可在没有与SAW器件直接相关的电源的情况下进行操作)相结合使其对于测量转动轴内的扭矩来说是理想的。一种根据两个SAW谐振器的现有技术系统示意地表示在图1中。在此系统中，两个SAW谐振器相对于轴线以±45°角度的取向固定在轴上。当扭矩作用在轴上时，由于SAW器件之一在张力下而另一个在压力下，谐振器的谐振频率在相反方向上改变。讯问单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面声波（ＳＡＷ）传感器，其包括设置在衬底上的转换器，其中转换器在衬底上取向，使其声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和衬底密度随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化总和大致相同并相反。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：VA卡利宁，M李，
申请(专利权)人：传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]