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表面声波装置制造方法及图纸
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下载表面声波装置的技术资料
文档序号:3405946
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一种SAW装置,包括单晶压电基板(由例如LiTaO↓[3]或LiNbO↓[3]制成),和由主要包含Al的材料形成并位于压电基板上的交叉指状电极(IDT)。压电基板包含添加剂(例如,Fe、Mn、Cu、Ti),并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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