表面声波装置制造方法及图纸

一种ＳＡＷ装置，包括单晶压电基板（由例如ＬｉＴａＯ↓［３］或ＬｉＮｂＯ↓［３］制成），和由主要包含Ａｌ的材料形成并位于压电基板上的交叉指状电极（ＩＤＴ）。压电基板包含添加剂（例如，Ｆｅ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｔｉ），并具有绕Ｘ轴从Ｙ轴向Ｚ轴旋转４２°到４８°（更理想的是，４６°±０．３°）范围内的角度取向。ＩＤＴ具有７％到１１％的标准厚度ｈ／λ（ｈ：电极厚度，λ：ＩＤＴ电极间距）。可表示出ＳＡＷ装置的更合适的基板切割角度以改善其电学特性，该ＳＡＷ装置使用含有添加剂的压电基板。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面声波装置，包括：单晶压电基板；和交叉指状电极，由主要包含Ａｌ的材料形成并位于所述压电基板的表面上；其中，所述压电基板包含添加剂，并具有绕Ｘ轴从Ｙ轴向Ｚ轴旋转４２°到４８°范围内的角度取向；所述压电基板 是钽酸锂或铌酸锂基板；以及所述添加剂包括铁、锰、铜和钛中的一种或多种。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：木原芳一，小山内胜则，广川行夫，苏武正树，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]