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在例如音叉型水晶振子的情况下，通过蚀刻，在作为水晶振子的掩膜的金属膜上形成水晶振子的槽部相对应的开口部时，金属膜的外缘被蚀刻成波浪状。因此，在进行湿蚀刻形成水晶振子的槽部时，水晶振子对应于上述金属膜而形成，产生外观不良和尺寸不良。本发明在对...
该专利属于日本电波工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电波工业株式会社授权不得商用。

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