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以机械方式耦合的ＭＥＭＳ谐振器１０２ａ、ｂ、ｃ、ｄ被安排成Ｎ×Ｍ阵列。每个谐振器都包括拉长梁段１０６ａ、ｂ、ｃ、ｄ。每个拉长梁段都通过弯曲段１０８ａ、ｂ、ｃ、ｄ在末端连接到另一个拉长梁段，从而形成一个几何形状（例如圆角正方形）。每个谐振器都...
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