ＭＥＭＳ谐振器阵列结构及其操作和使用方法技术

以机械方式耦合的ＭＥＭＳ谐振器１０２ａ、ｂ、ｃ、ｄ被安排成Ｎ×Ｍ阵列。每个谐振器都包括拉长梁段１０６ａ、ｂ、ｃ、ｄ。每个拉长梁段都通过弯曲段１０８ａ、ｂ、ｃ、ｄ在末端连接到另一个拉长梁段，从而形成一个几何形状（例如圆角正方形）。每个谐振器都通过谐振器耦合段１０４耦合到阵列的至少一个其它相邻谐振器，这个谐振器耦合段１０４可能布置在相邻谐振器的拉长梁段之间。这些谐振器按照组合的拉长（或呼吸）模式和弯折模式以相同的频率振荡。阵列的谐振器可以包括弯曲段中的波节点１１４（也就是在谐振器的振荡过程中，谐振器静止的部分）。这些波节点最好是锚定谐振器的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ阵列结构，包括：多个ＭＥＭＳ谐振器，每个ＭＥＭＳ谐振器都包括：多个拉长直梁段，其中每个梁段都包括第一端和第二端；多个弯曲段，其中每个弯曲段都包括第一端和第二端，其中梁段的每一端都与所述弯曲段之一的有关的端连接，从而形成一个几何形状；以及一个或多个谐振器耦合段，其中至少一个谐振器耦合段被布置在相邻ＭＥＭＥ谐振器相对的拉长直梁段中的每一个之间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M卢茨，A帕特里奇，潘志宇，
申请(专利权)人：罗伯特博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]