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本发明提供了一种半导体器件和半导体器件的制备方法,涉及半导体器件技术领域,该半导体器件包括衬底、成核层、第一缓冲层、第二缓冲层、器件层、源极、漏极、栅极以及背金层,源极与第二缓冲层接触,第二缓冲层为n型掺杂层,并具备导电特性,背孔贯通至成核...该专利属于深圳市时代速信科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市时代速信科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种半导体器件和半导体器件的制备方法,涉及半导体器件技术领域,该半导体器件包括衬底、成核层、第一缓冲层、第二缓冲层、器件层、源极、漏极、栅极以及背金层,源极与第二缓冲层接触,第二缓冲层为n型掺杂层,并具备导电特性,背孔贯通至成核...