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一种铟钨氧化物靶材及其制备方法技术
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文档序号:34052464
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本发明提供了一种铟钨氧化物靶材及其制备方法,属于光电材料技术领域。本发明先将化学计量比的氧化铟和氧化钨混合,经过煅烧使二者能够完全固相反应得到In6WO
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该专利属于郑州大学所有,仅供学习研究参考,未经过郑州大学授权不得商用。
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