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一种存储器及存储器的形成方法,存储器包括:衬底,所述衬底包括第一区、第二区和第三区,所述第二区位于第一区两侧,且所述第二区位于第一区和第三区之间;位于衬底第二区上的浮栅极结构;位于浮栅极结构上的第一侧墙;位于浮栅极结构侧壁的第一栅极结构,所...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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一种存储器及存储器的形成方法,存储器包括:衬底,所述衬底包括第一区、第二区和第三区,所述第二区位于第一区两侧,且所述第二区位于第一区和第三区之间;位于衬底第二区上的浮栅极结构;位于浮栅极结构上的第一侧墙;位于浮栅极结构侧壁的第一栅极结构,所...