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双线中垂切割硅棒的方法、切割设备及切割系统技术方案
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文档序号:34048186
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本申请实施例提供一种双线中垂切割硅棒的方法、切割设备及切割系统,其中,方法包括:通过两条相互垂直的切割线对硅棒进行一次切割,经其中一条切割线切割形成第一侧面;另一条切割线经过硅棒的中心线,形成第二侧面;通过三条切割线对硅棒进行切割,其中两条...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
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