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本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的电子阱结构，包括电子阱本体1和至少1件电子阱2，所述电子阱本体1上设置有第一通孔3，所述电子阱2包括第一电子阱4和第二电子阱5，所述第一电子阱4上设置有第二通孔6，所述第二电子阱5上设置有第三...
该专利属于成都纽曼和瑞微波技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都纽曼和瑞微波技术有限公司授权不得商用。

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