下载一种铬圆复合溅镀靶材的技术资料

文档序号:34045756

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本实用新型公开了一种铬圆复合溅镀靶材,包括圆柱状的铬圆靶材基体和铜环,靶材基体对应溅射工作面的一面设置有直径变小的连接柱,连接柱采用热压过盈配合方式插入铜环中,铜环具有优秀的物理性能,能快速有效地在铜环的外壁加工出螺纹结构,提高了铬圆复合溅...
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