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本实用新型公开了一种刻蚀机的真空传送腔体，应用在刻蚀机领域，其技术方案要点是：包括腔体和分别设置在腔体两侧的进料口、传递窗口；腔体连接有抽真空组件和输气组件，腔体内外分别设置有内侧气压表和外侧气压表；进料口处设置有电控滑移门，内侧气压表和外...
该专利属于无锡宇邦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡宇邦半导体科技有限公司授权不得商用。

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