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真空处理装置制造方法及图纸
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文档序号:34038271
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在使用多个基板保持器的通过型真空处理装置中,效率良好地对基板的两个表面进行处理,实现装置的小型化以及构成的简单化。运送通路具有将基板保持器(11)分别以水平状态向第一运送方向(P1)运送的往路侧运送部(33a)、向与第一运送方向(P1)相反...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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