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本发明公开一种微条探测器及其制备方法，涉及半导体器件技术领域。微条探测器包括：衬底，以及依次形成在所述衬底上的第一钝化层和第一微条电极层；其中，所述第一钝化层用于减小所述第一微条电极层与所述衬底之间形成的表面态并提高势垒高度，可以降低金属半...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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