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本发明公开了一种飞秒激光制备掩膜版的方法，包括如下步骤：步骤一：剪裁金属箔片；步骤二：将金属箔片包裹在盖玻片一面；步骤三：清洁金属箔片表面；步骤四：在金属箔片上通过飞秒激光技术刻蚀出刻蚀槽，制成掩膜版。本方案通过使用飞秒激光加工掩膜版替代了...
该专利属于佛山仙湖实验室所有，仅供学习研究参考，未经过佛山仙湖实验室授权不得商用。

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