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本公开提供一种深紫外光调制反射光谱仪，包括：激光泵浦模块，至少包括第一激光器；探照光模块，沿光路方向依次包括宽谱光源、入射单色仪、探照光斩波器；真空样品腔模块，沿泵浦光路方向依次包括第一激光器入射窗口、泵浦光斩波器、透镜组、待测样品，沿探照...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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