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本发明公开了一种SF6废气的射频放电降解方法，所述方法包括：将SF6、O2和Ar三种气体以(23～27)：(48～52)：2的比例混合，获得混合气体；将所述混合气体进行射频等离子体降解反应，获得反应产物，其中，所述射频等离子体降解反应中保持...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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