下载配向膜涂布系统的技术资料

文档序号:34016143

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本申请实施例提供了一种配向膜涂布系统。该配向膜涂布系统包括:检测装置、涂布装置和控制装置;检测装置用于检测待涂布的基板的表面平整度并得到第一检测值;涂布装置用于向已完成检测的基板涂布配向膜材料;控制装置分别与检测装置、涂布装置通信连接,用于...
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