【技术实现步骤摘要】
配向膜涂布系统
[0001]本申请涉及屏幕显示
,具体而言,本申请涉及一种配向膜涂布系统。
技术介绍
[0002]目前,在液晶显示器行业中,液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)在成盒(cell)工艺中需要在TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)基板和CF(Color filter,彩色滤光片)基板上分别涂敷一层配向膜。配向膜成膜方式有PI(Polyimide,聚酰亚胺)浸泡方式、APR(凸版)印刷方式和inkjet(喷墨)方式,其中,喷墨方式是一种非接触点描印刷方式。目前采用喷墨印刷进行PI液涂布的方式为:将存储于容器中的PI液输送到涂布装置的喷头(Head)内,然后根据设定的图案进行PI液喷涂,最后通过承载有玻璃基板的机台来回移动,实现PI膜均匀地涂布在基板上。喷墨方式相较于APR版印刷方式具有效率高、成本低、PI使用量少、无需APR版等优势。
[0003]配向膜成膜的最大要求就是保证膜面均一性,在喷墨方式中,影响配向膜成膜的膜面均一性的相关因素包括PI浓度、PI液滴下量、滴下间距、滴下位置以及基板表面平整度(基板膜面段差、角度或孔的位置)等。目前在TFT基板的产品中已经采用了许多有利于提高配向膜成膜的均一性的设计,例如AA区(Active Area,显示区)内部减小金属段差,优化Profile(坡度角)角度,减少Matrix(矩阵)周期孔的个数,优化半过孔设计等。
[0004]然而,在TFT基板的工艺制程中,Profile角度在单批次内或 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种配向膜涂布系统,其特征在于,包括:检测装置,用于检测待涂布的基板的表面平整度并得到第一检测值;涂布装置,用于向已完成检测的所述基板涂布配向膜材料;控制装置,分别与所述检测装置、所述涂布装置通信连接,用于根据所述第一检测值调整所述涂布装置向所述基板涂布配向膜材料的涂布量,以使配向膜材料均匀涂覆于所述基板。2.根据权利要求1所述的配向膜涂布系统,其特征在于,所述检测装置包括:检测载台,用于承载所述基板;支撑结构,分别设置在所述检测载台的两侧;移动杆,所述移动杆的两端分别与所述支撑结构连接,用于相对所述检测载台沿第一方向移动,所述第一方向平行于所述检测载台的台面;至少一个检测头,与所述移动杆连接,用于检测所述基板的表面平整度并得到第一检测值;第一控制单元,分别与所述移动杆、所述支撑结构和所述检测头电连接,并与所述控制装置通信连接。3.根据权利要求2所述的配向膜涂布系统,其特征在于,所述检测头包括:移动组件,与所述移动杆连接,用于沿第一平面内的任意方向移动,所述第一平面平行于所述检测载台的台面;激光发射器,与所述移动组件连接,用于发射检测激光;感应组件,与所述移动组件连接,用于在与所述基板表面的范德华力作用的影响下发生偏转,并反射所述检测激光;信号接收器,与所述移动组件连接,用于接收经所述感应组件反射的所述检测激光并生成所述第一检测值;所述移动组件、所述激光发射器、所述感应组件和所述信号接收器均与所述第一控制单元电连接。4.根据权利要求3所述的配向膜涂布系统,其特征在于,所述激光发射器包括:激光头和角度调节结构;所述角度调节结构的一端与所述激光头连接,另一端与所述移动组件连接;所述角度调节结构与所述第一控制单元电连接;所述激光头用于发射所述检测激光。5.根据权利要求4所述的配向膜涂布系统,其特征在于,所述感应组件包括:磁力控制结构和感应探针;所述磁力控制结构的一端与所述感应探针连接,另一端与所述移动组件连接;所述磁力控制结构与所述第一控制单元电连...
【专利技术属性】
技术研发人员:李官正,杨军,张灿,王鑫,张俊伟,杜江,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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