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本发明涉及一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置,包括水平设置的压板,所述压板上设置有方孔和四个第一条形槽,四个第一条形槽分别设置在方孔的前侧、后侧、左侧和右侧,所述第一条形槽的两端与方孔中心之间的距离相等,所述压板的顶部和底部通过第一条形槽...该专利属于无锡红光微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡红光微电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置,包括水平设置的压板,所述压板上设置有方孔和四个第一条形槽,四个第一条形槽分别设置在方孔的前侧、后侧、左侧和右侧,所述第一条形槽的两端与方孔中心之间的距离相等,所述压板的顶部和底部通过第一条形槽...