下载激光退火设备及系统的技术资料

文档序号:34012704

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本申请提供了一种激光退火设备及系统,激光退火设备包括:激光装置和光学补偿装置;激光装置用于向光学补偿装置发射激光光束;光学补偿装置包括分束结构和翻转结构;分束结构用于对激光光束进行反射和透射,分别得到第一光束和第二光束,并将第一光束和能量翻...
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