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本发明提供了一种表面凹槽金属化热沉结构陶瓷管壳的制备方法及陶瓷管壳,属于陶瓷管壳制备技术领域,包括:在陶瓷基板的正面和/或背面刻蚀凹槽;在陶瓷基板的正面和背面气相沉积金属种子层;在金属种子层上粘附n层光敏材料;在光敏材料上进行预设图形的曝光...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种表面凹槽金属化热沉结构陶瓷管壳的制备方法及陶瓷管壳,属于陶瓷管壳制备技术领域,包括:在陶瓷基板的正面和/或背面刻蚀凹槽;在陶瓷基板的正面和背面气相沉积金属种子层;在金属种子层上粘附n层光敏材料;在光敏材料上进行预设图形的曝光...