下载单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备的技术资料

文档序号:34006046

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本发明提供了一种单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备,属于半导体领域,方法包括图像采集、单双光圈判定和单双光圈直径测量;拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器,控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、硅料熔态图像...
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