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本发明提供一种用于处理基板的设备及用于处理基板的方法。在示例性实施例中，用于处理基板的设备包括配置为支承基板且被设置为可旋转的支承构件、配置为选择性地在基板上供应高温的第一处理液以及高温的第二处理液的处理液喷嘴、以及配置为控制处理液喷嘴，使...
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