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公开了用于减少显微镜系统的光学元件中的热磁场噪声的产生的系统。根据本公开的具有减少的约翰逊噪声产生的实例显微镜光学元件包括由电绝缘材料构成的内芯和由导电材料构成的外涂层。所述外涂层的厚度与电导率的乘积小于0.01Ω
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该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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