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光学芯片可以包括垂直腔面发射激光器VCSEL结构。该光学芯片可以包括位于VCSEL结构的活性区之外的VCSEL结构的活性层的至少一部分上方的电容器。该电容器可以包括在活性层的一部分上方的第一金属层、在第一金属层上的介电层和在介电层上的第二金...
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